Ti-DLC薄膜在水介质中的摩擦学特性?

• 作者: 吴志威 周飞 王谦之 苏恒 高宋
• 来源期刊: 润滑与密封
• 学科: 工学
• 关键词: Ti-DLC薄膜 M2工具钢 水润滑 摩擦磨损
• 年，卷（期）: 2015,（10）
• 页码范围: 23-29,40
• 页数: 8页
• 分类号: TH117
• 字数: 4213字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0254-0150.2015.10.005

摘要

采用非平衡磁控溅射法在Si （100）片和M2工具钢上制备Ti?DLC薄膜。通过X射线光电子能谱仪、拉曼光谱仪和扫描电子显微镜分析薄膜的结构以及微观形貌；利用球－盘摩擦磨损试验机研究不同载荷下Ti?DLC／Si3 N4对摩副在水中的摩擦学特性。结果表明， Ti?DLC薄膜具有致密的表面结构，含有较多的C?Csp2键；摩擦介质为去离子水时，薄膜的摩擦因数随着载荷的增加先减小后增大，且载荷增加到一定值后，摩擦因数几乎不再变化；薄膜磨损率随着载荷的增加先升高后降低，而相应的Si3 N4小球磨损率却是先减小后增大，这主要是由于Si3 N4在水中易于发生水合反应，促使摩擦接触表面变得非常平滑，从起到降低摩擦因数，在一定程度上减少磨损的作用。