微波等离子体下GaN的分解与纳米金刚石膜的沉积

• 作者: 刘金龙 李成明 田寒梅 陈良贤 魏俊俊 黑立富
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化镓 分解 微波等离子体化学气相沉积 纳米金刚石膜
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 页码范围: 7-12
• 页数: 6页
• 分类号: TG174.4|TB34
• 字数: 3095字
• 语种: 中文

摘要

采用微波等离子体化学气相沉积(microwave plasma chemical vapor deposition,MPCVD)技术系统地研究了GaN的分解机制.结果表明微波等离子体富氢环境促进了GaN的分解反应,分解过程由表面缺陷开始,向侧面扩展,最后沿氮极性面进行;氢等离子体中通入少量氮气能够显著抑制GaN的分解,在此基础上采用两步生长法成功实现在GaN上纳米金刚石膜的直接沉积.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	魏俊俊	北京科技大学新材料技术研究院	32	112	5.0	9.0
2	黑立富	北京科技大学新材料技术研究院	39	153	6.0	10.0
3	李成明	北京科技大学新材料技术研究院	71	480	12.0	19.0
4	陈良贤	北京科技大学新材料技术研究院	34	69	4.0	5.0
5	刘金龙	北京科技大学新材料技术研究院	34	82	5.0	7.0
6	田寒梅	北京科技大学新材料技术研究院	2	4	2.0	2.0