喷淋孔结构流体动力学特性研究

• 作者: 季林红 王春财 程嘉 路益嘉
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 真空腔室 喷淋板 直接模拟Monte Carlo 结构设计
• 年，卷（期）: 2015,（12）
• 所属期刊栏目: 工艺设备
• 页码范围: 1500-1506
• 分类号: TB71.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2015.12.18

摘要

喷淋板通常用在化学气相沉积等真空腔室中,其流体动力学特性是决定真空腔室性能的关键因素之一.本文利用自主开发二维直接模拟Monte Carlo模拟程序对单个不同形状喷淋孔结构中性气体流场进行了数值仿真研究;讨论了七种不同单个喷淋孔结构的速度场、压力场和温度场分布情况.中性参考气体为氩气,固定入口压力200Pa、温度300K.结果表明,喷淋孔入口或出口形状影响腔室的工艺性能;而将喷淋孔入口和出口均设计成锥形,则腔室内流场分布较为理想.研究成果为喷淋板设计提供直接参考,同时对化工、热处理、光伏电池制造等领域中腔室部件的研发具有重要意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	季林红	清华大学摩擦学国家重点实验室清华大学机械工程系设计所	126	1965	24.0	40.0
2	王春财	清华大学摩擦学国家重点实验室清华大学机械工程系设计所	5	14	1.0	3.0
3	程嘉	清华大学摩擦学国家重点实验室清华大学机械工程系设计所	9	24	2.0	4.0
4	路益嘉	清华大学摩擦学国家重点实验室清华大学机械工程系设计所	7	1	1.0	1.0