离子束抛光去除函数计算与抛光实验

• 作者: 唐瓦 张学军 邓伟杰 郑立功
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学加工 离子束抛光 溅射效应 法拉第杯扫描 去除函数
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 31-39
• 页数: 9页
• 分类号: TN305.2
• 字数: 5688字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20152301.0031

摘要

由于传统的离子抛光工艺采用的确定去除函数的方法操作复杂且成本很高,本文提出了利用法拉第杯对离子束流空间分布进行测量、标定的方法,并计算得到不同离子源工作参数对应的去除函数.首先,基于离子束抛光材料去除原理,研究了离子束抛光过程中束流分布与能量对去除函数的影响,并提出简化的离子束抛光去除函数模型.然后,设计实验并得出离子束流空间分布与去除函数相关参数间的关系,计算得到了不同离子源工作参数产生的离子束流对应的去除函数.对硅和融石英玻璃的相关实验表明:利用法拉第杯扫描结果计算相同材料的去除函数的单位时间体积去除率与实际测量值误差小于2％.结合抛光实验,对Φ800 mm碳化硅表面硅改性层平面镜进行抛光,得到的初始面形误差均方根(RMS)值为57.886 nm,两次抛光后RMS值为11.837 nm,收敛率达到4.89,满足精密光学加工对去除函数的确定性及精度的要求,并大大提升了确定去除函数的效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张学军	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	124	1634	25.0	33.0
2	邓伟杰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	13	205	10.0	13.0
3	郑立功	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	39	386	12.0	19.0
4	唐瓦	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	2	34	2.0	2.0