杆状氧化铍表面金刚石薄膜的生长

• 作者: 付秋明 张田田 李国伟 王传新 马志斌 黄宏伟
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 线形微波等离子体 化学气相沉积 金刚石膜 氧化铍
• 年，卷（期）: 2015,（12）
• 所属期刊栏目: 功能薄膜
• 页码范围: 1513-1518
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2015.12.20

摘要

利用一种新型线形微波等离子体源以甲烷和氢气为反应气体在135 mm×l mm× 0.5 mm杆状氧化铍表面沉积金刚石膜.研究了氧化铍基底预处理对金刚石形核密度和膜的连续性,以及基底温度对金刚石质量的影响.通过扫描电镜、拉曼光谱对沉积的金刚石膜表面形貌以及质量进行表征.实验结果表明:600#砂纸与金刚石粉混合预处理可以大大提高氧化铍表面金刚石的形核密度,得到连续性较好的金刚石薄膜;同时,基底温度不仅影响着金刚石膜的表面形貌,也影响着金刚石膜的质量.基底温度较低时,金刚石膜在沉积过程中二次形核增强,非金刚石相含量较高;提高沉积温度后,等离子体中H原子浓度增加,有利于金刚石质量的提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王传新	武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料湖北重点实验室	34	121	6.0	8.0
2	马志斌		58	189	7.0	10.0
3	张田田	武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料湖北重点实验室	3	4	2.0	2.0
4	黄宏伟	武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料湖北重点实验室	4	6	2.0	2.0
5	付秋明	武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料湖北重点实验室	14	22	2.0	3.0
6	李国伟	武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料湖北重点实验室	5	10	2.0	3.0