双坩埚三维温度梯度法蓝宝石晶体生长炉设计

• 作者: 倪屹 司继良 巩潇 李留臣
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 关键词: 蓝宝石 晶体生长炉 三维立体温度梯度法 双坩埚
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 页码范围: 563-566
• 页数: 4页
• 字数: 1965字
• 语种: 中文

摘要

在已有的三维温度梯度法(3DGF)蓝宝石晶体生长炉基础上,设计了一种双坩埚蓝宝石晶体生长炉.设计的三维温度梯度法蓝宝石晶体生长炉主要针对蓝宝石手机面板市场,将坩埚设计成长方体型,增加了材料利用率,并简化了晶体切割工艺.采用双坩埚技术,可进一步提高晶体的生产效率,节约能耗,降低成本.本设计的双坩埚3DGF蓝宝石晶体生长炉可单炉获得2个300 mm×100 mm× 100 mm的蓝宝石晶体.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	司继良	中国科学院上海光学精密机械研究所	12	21	3.0	4.0
2	倪屹	江南大学轻工过程先进控制教育部重点实验室	20	26	2.0	4.0
3	巩潇	江南大学轻工过程先进控制教育部重点实验室	1	1	1.0	1.0