基于YCOB的高温声表面波谐振器的研究

• 作者: 张万里 彭斌 曾义红 舒琳 邓森洋
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: YCa4O(BO3)3 声表面波 高温谐振器
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 页码范围: 17-19,23
• 页数: 4页
• 分类号: TN65|TN384
• 字数: 2357字
• 语种: 中文

摘要

该文研究了在新型压电材料YCa4O(BO3)3(YCOB)上设计和制备高温声表面波(SAW)谐振器.研究了2种不同切型X-90°、Z-90°YCOB为基底的SAW谐振器的高温性能.研究表明,在600℃下器件的稳定性高,其谐振频率随着温度的升高呈线性降低.Z-90°YCOB器件的谐振频率和温度灵敏度分别为278.94 MHz和21.22 kHz/℃;X-90°YCOB器件的谐振频率和温度灵敏度分别为230.53 MHz和13.44 kHz/℃.结果表明,Z-90°切型的YCOB的温度灵敏度较高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张万里	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	142	705	13.0	17.0
2	彭斌	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	87	638	12.0	21.0
3	曾义红	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	13	2.0	2.0
4	舒琳	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	10	2.0	2.0
5	邓森洋	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	4	20	3.0	4.0