基于声表面波聚二甲基硅氧烷薄膜形变研究

• 作者: 付相庭 查燕 章安良
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 形变 声表面波 微阀 微流器件
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 页码范围: 6-9
• 页数: 4页
• 分类号: TN371
• 字数: 2570字
• 语种: 中文

摘要

提出了一种新的聚二甲基硅氧烷薄膜形变方法.在128°YX-LiNbO3压电基片上光刻叉指换能器,其激发的声表面波在压电基片上亲水表面的阻力共同作用下挤压微槽内水相微流体,使得其上的聚二甲基硅氧烷薄膜发生形变.采用红色染料溶液微流体为实验对象进行聚二甲基硅氧烷薄膜形变实验,结果表明,所提出的方法可有效实现聚二甲基硅氧烷薄膜形变,且与激发声表面波的电信号功率、水相微流体的体积及薄膜厚度有关.在13 μL水相微流体,薄膜厚为12.5 μm,电信号功率为26.5 dBm时,薄膜最小形变距离为280μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	查燕	宁波大学微纳电子系统研究所	7	10	2.0	2.0
2	章安良	常州工学院电气学院	11	13	2.0	2.0
3	付相庭	宁波大学微纳电子系统研究所	8	13	2.0	2.0