时栅角位移传感器在线自标定系统

• 作者: 彭东林 陈锡侯 高忠华
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 时栅角位移传感器 自标定 定角平移 零点纠错
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 维纳技术与精密机械
• 页码范围: 93-101
• 页数: 9页
• 分类号: TB922|TP212.6
• 字数: 4283字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20152301.0093

摘要

为解决时栅角位移传感器在实际应用中的在线标定问题,提出了一种定角平移自标定方法并设计了相应的自标定系统.该方法首先把圆周封闭的自然基准转换成定角基准,在时栅内部建立了自标定基准.然后,根据傅里叶级数的性质,将定角基准平移到傅里叶变换的幅值和相位中,建立了测量值之差与误差之差的函数关系.通过对测量值之差进行傅里叶分析,重构了时栅角位移传感器的误差函数.最后,讨论了影响自标定精度的误差来源,并设计了传感器的零点纠错算法.为了检验自标定效果,利用激光干涉仪实验装置与自标定系统进行了对比试验.结果表明:定角平移自标定精度为1.9",与理论计算的自标定误差(1.5±0.5)"的结论相符.提出的自标定方法在解决时栅自身标定基准的同时,满足了精密测量领域对时栅精度和可靠性的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭东林	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	86	653	14.0	17.0
5	陈锡侯	重庆理工大学时栅传感器及先进检测技术重庆市重点实验室	54	435	13.0	17.0
6	高忠华	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	28	238	11.0	13.0