多孔硅相对湿度传感器的设计?

• 作者: 张胜兵 许高斌 陈兴 马渊明
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 湿度传感器 仿真 实验 多孔硅 自解吸附
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 617-622
• 页数: 6页
• 分类号: TB33
• 字数: 3108字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2015.05.002

摘要

基于对三明治型与平铺型两种多孔硅湿度传感器结构的灵敏度分析与比较,结合两种结构的优点,设计出新的传感器的结构。通过对该结构湿度传感器的性能测试,得出该传感器的灵敏度为1.1 pF/RH%,响应时间为73 s,温度湿度系数为0.5%RH/℃,该湿度传感器适用于在中低湿环境中测量,在每隔20 d的时间对传感器跟踪测试,证明该传感具有较好的稳定性。此外为了传感器可以自解吸附,该传感器采用多晶硅为传感器加热除湿,在金属电极上溅射一层钝化层以防止电极被水汽腐蚀。