微系统及其加工方法的介绍

• 作者: 孔亚君
• 来源期刊: 江西化工
• 关键词: 微机电系统 微细加工技术 微机电 微电子
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 综述与专论
• 页码范围: 16-17
• 页数: 2页
• 字数: 1432字
• 语种: 中文

摘要

微细加工技作为现代加工技术的延伸,是二十一世纪的关键技术之一.本文介绍了微机电系统的原理及特点,列举了一些微机电系统中所涉及到的微细加工方法,并阐述了其发展及应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孔亚君		1	1	1.0	1.0