原子力显微镜矩形测力臂弹性系数计算方法研究

• 作者: 吴晓 李辛 王志龙 董作见
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜 弹性系数 灵敏度分析 测力臂
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 仪器仪表/检测/监控
• 页码范围: 101-105
• 页数: 5页
• 分类号: TH703.1
• 字数: 3952字
• 语种: 中文

摘要

原子力显微镜测力臂弹性系数的准确性直接影响其测量精度，是仪器标定的一个重要指标。分别运用理论计算方法、动态计算方法和静态计算方法计算原子力显微镜测力臂弹性系数。以矩形测力臂为例，对其进行灵敏度分析，找出影响测力臂弹性系数的参数。分别选取矩形测力臂原始参数值及参数上下极限值，构成3组实验数据。利用上述3种计算方法，分别计算出3组不同参数值的矩形测力臂的弹性系数，然后对这3种计算方法计算所得的弹性系数进行分析并和生产商给出的名义值进行比较，所得结果为原子力显微镜矩形测力臂弹性系数的精确计算提供参考。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴晓	西南交通大学机械工程研究所	65	644	15.0	22.0
2	李辛	西南交通大学机械工程研究所	9	21	2.0	4.0
3	王志龙	西南交通大学机械工程研究所	11	17	3.0	4.0
4	董作见	西南交通大学机械工程研究所	7	24	3.0	4.0