大功率射频板条CO2激光器电极波导介质膜研究

• 作者: 唐霞辉 杨卫红 王度 袁金坤 陈一峰
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 射频板条CO2激光器 镀膜技术 磁控溅射 光波导 反常色散
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 212-218
• 页数: 7页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201542.0107001

摘要

针对高功率射频板条CO2激光器铜电极表面放电氧化、受射频放电的电子溅射,致使电极表面不光滑,辉光放电不均匀,光波导损耗严重等问题.利用Al2O3波导介质膜具有的反常色散效应、耐高温能力强的特点,采用磁控溅射镀膜技术对激光器电极表面先镀Al,而后阳极氧化获得Al3O3波导介质膜.分析了磁控溅射工艺对膜层结构的影响,测量了镀膜电极对CO2激光的反射率,并进行了放电实验检测.结果表明,溅射功率为250W时可得到致密的镀膜层结构;厚度6 μm的Al2O3薄膜,对波长10.6 μm的CO2激光波导反射率最高达75％;电极镀膜后激光器输出功率在占空比为30％时为700W,占空比为60％时达到了1300W.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐霞辉		59	430	13.0	18.0
2	杨卫红		10	41	4.0	6.0
3	袁金坤		1	0	0.0	0.0
4	王度		1	0	0.0	0.0
5	陈一峰		1	0	0.0	0.0