采用Zn(NO3)2·6H2O、草酸、乙基纤维素构成反应体系,以低热固相反应(Low-heating solid state reaction,LHSR)法制备前驱体,通过灼烧得到粉体产物,再以旋涂法制得薄膜.经表征表明得到一种三维介孔结构纳米ZnO(Mesoporous Nano-ZnO,MNZ)薄膜.400℃处理前驱体后所制备的MNZ薄膜具有最大比表面积且具有光陷阱和毛细管作用,能有效增加光散射及其利用,有利于染料的快速吸附和缩短光阳极浸泡时间.分析薄膜形貌与光电性能之间的关系,为深入采用LHSR法制备光阳极薄膜的研究提供有益的启示.