离子束溅射氧化物薄膜的中红外特性

• 作者: 李定 熊胜明
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 氧化物薄膜 离子束溅射 中红外 水吸收
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 219-223
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201542.0107002

摘要

以离子束溅射沉积(IBSD)方法制备了Al2O3、Nb2O5单层膜,用红外可变角度光谱椭圆偏振仪(IR-VASE)测试了薄膜的光学常数.用原子力显微镜(AFM)测量了单层膜的表面形貌及表面粗糙度,计算了单个表面的总积分散射(TIS).以Nb2O5和Al2O3为高低折射率材料设计并制备了2.7 μm高反射膜.最后对单层膜进行了环境实验检测.结果表明,制备的薄膜在中红外波段具有高的折射率和低的消光系数,光滑的表面特性和极低的表面散射损耗;在2.7 μm波段没有发现由于水吸收导致的消光系数的增大;制备的反射膜在2.7 μm反射率达到了99.63％,接近于理论计算值.薄膜顺利通过了一系列环境实验,显示其优良的环境稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊胜明	中国科学院光电技术研究所	44	353	11.0	16.0
2	李定	中国科学院光电技术研究所	10	96	3.0	9.0