多晶硅铸锭中碳、氮、氧杂质特性的研究进展

• 作者: 姜大川 李鹏廷 王鹏 石爽 秦世强 谭毅
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅铸锭 性能 杂质 形貌 控制
• 年，卷（期）: 2015,（21）
• 所属期刊栏目: 材料综述
• 页码范围: 15-20
• 页数: 6页
• 分类号: TB321|O77+5
• 字数: 5759字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11896/j.issn.1005-023X.2015.021.003

摘要

在多晶硅铸锭生产过程中不可避免地会引入碳、氮、氧杂质元素,这些杂质会形成沉淀、复合体等缺陷,成为少数载流子的复合中心,缩短硅的少子寿命,从而降低硅片的太阳能转换效率.因此控制和降低铸锭中这3种杂质元素的含量对提高铸锭的性能和降低生产成本具有重要意义.阐述了碳、氮、氧元素的来源、分布,着重综述了铸锭中3种杂质元素的存在形态及不同形态对铸锭的影响,总结了降低3种杂质元素含量的方法,指出了目前研究的问题,并对铸锭中这3种杂质元素的研究趋势进行了展望.