基于LabVIEW的单片式晶片自动化电镀设备通信系统

• 作者: 明志发 桂志刚 王博文 郭帅
• 来源期刊: 机械制造
• 学科: 工学
• 关键词: LabVIEW 晶片电镀 通信系统
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 研究·开发
• 页码范围: 34-37
• 页数: 4页
• 分类号: TN919
• 字数: 2628字
• 语种: 中文

摘要

介绍了基于LabVIEW软件开发的单片式晶片自动化电镀设备的控制系统,详细阐述了各控制模块之间的通信.设备具备即时工作状态显示、完善的工艺数据库管理和详细的历史记录存储等功能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭帅		5	7	2.0	2.0
2	明志发		2	1	1.0	1.0
3	桂志刚		2	1	1.0	1.0
4	王博文		2	1	1.0	1.0