TEM原位光电双功能样品杆改造及电源系统优化设计?

• 作者: 张师斌 徐峰 杨力 董辉 韩海霞
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 透射电子显微镜 原位样品杆 光电双功能基片 基片供电电源
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 固态电子器件及材料
• 页码范围: 231-235
• 页数: 5页
• 分类号: TN16
• 字数: 2417字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2015.02.001

摘要

为了研制用于透射电子显微镜( TEM)的光学和电学双功能原位测试样品杆，在理解国外进口电学原位样品杆电路和电极结构的基础上，引入微型LED芯片作为发光源对其进行光电双功能升级改造，并通过优化光电双功能基片供电电源系统以保障TEM清晰成像。测试结果表明，利用自制的基片供电电源，改造后的电学测试样品杆能同时测试样品的光学和电学特性，且透射电子显微镜成像清晰稳定。