AFM微悬臂梁探针弹性常数各种标定方法的比较与分析

• 作者: 傅星 吴森 宋云鹏 徐临燕
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微悬臂梁 原子力显微镜 法向弹性常数 标定
• 年，卷（期）: 2015,（8）
• 所属期刊栏目: 传感器信号处理
• 页码范围: 1161-1168
• 页数: 8页
• 分类号: TH73
• 字数: 6603字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2015.08.011

摘要

微悬臂梁探针是基于原子力显微镜(AFM)的微纳尺度力学测试中重要的力传感元件，其弹性常数的准确程度直接影响力学测量结果的可靠性。但是，目前已有的众多标定微悬臂梁探针弹性常数的方法都有各自的局限性，且准确性各异，因此需要对各种方法进行对比来选择出最佳方法。选取三种商用悬臂梁探针利用本实验室搭建的基于天平法的可溯源微悬臂梁探针弹性常数标定仪对其法向弹性常数进行标定，之后再将相同悬臂梁用三种常用标定方法（尺寸参数法，Sader法，热噪声法）进行再次标定。对不同方法测量结果进行比较，分析并详细讨论每种方法的优缺点与适用范围。结果表明相比于其他方法，微悬臂梁探针弹性常数标定仪（天平法）可测范围广，精度高，可溯源，可成为精确标定各种悬臂梁探针弹性常数的最佳方法之一。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅星	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	107	753	14.0	20.0
2	徐临燕	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	15	103	7.0	9.0
3	吴森	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	13	62	4.0	7.0
4	宋云鹏	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	3	16	3.0	3.0