激光干涉仪的应用--激光干涉仪技术综述之五

• 作者: 羡一民
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光干涉仪 激光跟踪仪 纳米计量 机床检测
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 页码范围: 79-85
• 页数: 7页
• 分类号: TG806
• 字数: 4835字
• 语种: 中文

摘要

激光干涉仪具有测量范围大、精度高等特点，在各个领域得到广泛应用。本文介绍了激光干涉仪在数控机床检测、纳米测量、激光跟踪仪等方面的具体应用。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	羡一民	成都工具研究所有限公司	14	153	6.0	12.0