氢气浓度对掺氮超纳米金刚石薄膜的影响

• 作者: 吕琳 崔晓慧 张莹 汪建华 翁俊
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 超纳米金刚石 氢气浓度 微波等离子体化学气相沉积 导电性
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 页码范围: 374-379
• 页数: 6页
• 分类号: O484.4
• 字数: 3650字
• 语种: 中文

摘要

采用微波等离子体化学气相沉积法,以甲烷和氮气为气源,通过改变反应气体中氢气的浓度,在硅衬底上沉积出掺杂氮的超纳米金刚石膜.并利用扫描电子显微镜,拉曼光谱仪,X射线衍射仪,霍尔效应测试仪分别对掺杂氮的超纳米金刚石膜的表面形貌,组成结构及导电性能进行了进行表征,重点研究了氢气浓度对薄膜特性的影响.结果表明:随着氢气浓度的增加,薄膜的晶粒尺寸逐渐增大;薄膜的质量提高,且由G峰漂移引起的压应力逐渐减小;薄膜导电性变差.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪建华	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	123	698	14.0	19.0
2	张莹	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	8	66	5.0	8.0
3	崔晓慧	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	8	47	3.0	6.0
4	翁俊	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	33	102	4.0	8.0
5	吕琳	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	7	31	3.0	5.0