电热驱动Bimorph微执行器对流系数估算方法研究

• 作者: 丁金玲 刘骏文 徐大诚 谢会开 陈巧
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 对流系数 电热Bimorph结构 微执行器 热阻模型
• 年，卷（期）: 2015,（8）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 1120-1124
• 页数: 5页
• 分类号: TP215|TK124
• 字数: 2971字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2015.08.004

摘要

随着电热驱动MEMS器件尺寸进一步缩小，传统热对流系数的取值已无法满足微系统分析建模需求。针对电热型Bimorph结构的MEMS微镜驱动器，通过分析其温度分布，并以其平均温度为参考指标建立简单热阻和对流热阻分段模型，推算出微尺度下精确的对流系数，提高了微执行器设计模型的驱动性能。经理论计算和实验测试验证，对流系数值的误差在8.1%以内，满足实际设计需求，验证了该方法的合理性和可行性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐大诚	苏州大学电子信息学院	60	259	8.0	13.0
2	陈巧		3	15	3.0	3.0
3	刘骏文	苏州大学电子信息学院	1	3	1.0	1.0
7	丁金玲		1	3	1.0	1.0