基于直线电机驱动气浮导轨的高精度定位平台实现

• 作者: 姬琪 王红园
• 来源期刊: 电子测量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 直线电机 气浮导轨 定位平台 闭环控制
• 年，卷（期）: 2015,（12）
• 所属期刊栏目: 智能化仪器及其应用
• 页码范围: 89-91,95
• 页数: 4页
• 分类号: TP29
• 字数: 2478字
• 语种: 中文

摘要

精密定位技术在产品精密加工、精密检测中发挥着重要作用.本文介绍了一种利用直线电机驱动气浮平台实现精密定位的方法,阐述了气浮平台工作原理及设计方案,推导了直线电机的控制模型,并利用新型驱动器实现了闭环控制.最后采用LenScan镜面定位仪对平台定位数据进行了比对,验证了定位平台定位的准确性.结果表明该平台结构可靠、系统运行稳定,X、y方向精度均达到微米级,满足使用要求.现已应用在对半导体器件几何参量的测试中,效果良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王红园	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	6	67	3.0	6.0
2	姬琪	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	9	84	4.0	9.0