大口径SiC离轴非球面的高效磨削加工

• 作者: 张学军 张志宇 李丽富 李龙响 殷龙海 王孝坤 郑立功
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学制造 SiC离轴非球面 快速磨削 超声复合磨削 在线检测
• 年，卷（期）: 2015,（9）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 2497-2505
• 页数: 9页
• 分类号: TN305.2
• 字数: 3359字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20152309.2497

摘要

研究了空间遥感器用大口径SiC离轴非球面的超声复合磨削加工工艺.分别对磨削原理、金刚石砂轮结合剂选择、机床选取、磨削参数设定等进行了分析,并设计和规划了磨削工艺流程.基于逆向工程原理建立了高精度离轴非球面模型,创立了激光跟踪仪精磨阶段在线测量大口径离轴非球面的工艺.结合工程实践对一口径为700mm×700mm的SiC高次离轴非球面元件进行了逆向工程建模和超声磨削加工试验,并利用激光跟踪仪进行了在线检测.经过3个周期(每个周期4h)的修磨,其面形精度PV值和RMS值分别由45.986 μm和7.949 μm收敛至12.181 μm和2.131 μm;与三坐标测试结果进行对比,其PV值和RMS值的偏差分别为0.892 3 μm和0.312 8 μm.实验显示,提出的磨削工艺实现了大口径SiC离轴非球面的快速精确磨削,其加工精度、效率以及表面质量都有了很大的提高.