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摘要:
采用自主研发的5 kW不锈钢谐振腔式MPCVD设备,在Ar/H2/CH4气氛下,保持总气压与CH4气流量不变,研究了不同Ar/H2比例对单晶金刚石生长速度和晶体质量的影响.通过拉曼光谱与高分辨率XRD摇摆曲线,从生长速度与生长质量两点对所得样品进行分析.结果表明,适量Ar的存在能够显著提高单晶金刚石的生长速度,并且不损害金刚石的晶体质量.当Ar/H2=30%时,生长速度最高,为35 μm/h.随着Ar/H2比例的进一步增加,单晶金刚石的结晶质量会有所下降,Ar/H2比例过高则会严重破坏单晶金刚石的生长.
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文献信息
篇名 Ar对微波等离子体CVD单晶金刚石生长的影响
来源期刊 人工晶体学报 学科 物理学
关键词 MPCVD 单晶金刚石 Ar
年,卷(期) 2015,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 337-341
页数 5页 分类号 O78
字数 2119字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 江南 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 110 2450 30.0 46.0
2 满卫东 武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室 45 370 11.0 16.0
3 张玮 武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室 45 185 8.0 11.0
5 吕继磊 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 6 10 2.0 2.0
6 林晓棋 武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室 3 19 3.0 3.0
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研究主题发展历程
节点文献
MPCVD
单晶金刚石
Ar
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
人工晶体学报
月刊
1000-985X
11-2637/O7
16开
北京朝阳区红松园1号中材人工晶体研究院,北京733信箱
1972
chi
出版文献量(篇)
7423
总下载数(次)
16
总被引数(次)
38029
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
论文1v1指导