TiAl表面液相等离子沉积Al2O3膜的结构与性能

• 作者: 张大蔚 李夕金 薛文斌
• 来源期刊: 材料热处理学报
• 学科: 工学
• 关键词: Al2O3膜 等离子液相沉积 性能 TiAl合金
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 表面改性
• 页码范围: 142-146
• 分类号: TG174.44
• 语种: 中文

摘要

在TiAl合金表面以等离子液相沉积方法制备了Al2O,膜.扫描电镜观察膜为多孔结构,沉积膜的内部孔的直径约30 μm,表面孔的直径约有10 μm;多孔结构的膜硬度约为1200 HV;沉积膜的主要相成分是γ-Al2O3及少量的α-Al2O3;显微划痕实验结果表明膜层与基体之间有较好的结合力,划痕超声信号出现在15 N压力附近;利用SEM及EDS能谱分析膜层破裂机制,膜层的开裂主要是由于基体在压力作用下的变形导致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛文斌	北京师范大学核科学与技术学院	37	1416	17.0	37.0
2	张大蔚	河南大学物理与电子学院	6	2	1.0	1.0
3	李夕金	河南大学物理与电子学院	5	11	1.0	3.0