光栅副间隙动态测量设备的设计

• 作者: 吴宏圣 张雪鹏
• 来源期刊: 机电产品开发与创新
• 学科: 工学
• 关键词: 光栅尺 光栅副 间隙测量
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 产品与市场
• 页码范围: 26-28
• 页数: 3页
• 分类号: TH71
• 字数: 1317字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-6673.2015.02.010

摘要

基于光学测量和图像处理,设计了一种用于测量光栅尺读数头装配过程中指示光栅装配时光栅副间隙的设备.试验测量结果表明,设备测量结果可靠,全区间测量误差＜5％,使用区间测量误差＜3％.为光栅副装配中间隙测量提供了可靠的测量方法和设备.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴宏圣	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	22	364	10.0	19.0
2	张雪鹏	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	8	12	2.0	3.0