表面改性后的SiO2薄膜光学性能研究

• 作者: 杨宁宁 胡凤娇 雅菁
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 SiO2薄膜 椭圆偏振光谱仪 光学常数 微结构 表面改性
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 页码范围: 852-856
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 3301字
• 语种: 中文

摘要

用溶胶-凝胶法在酸碱复合催化条件下制备了SiO2溶胶,采用浸渍提拉法在K9玻璃上制备了性能稳定的SiO2薄膜,并用三甲基氯硅烷对SiO2薄膜进行了表面改性.用反射式椭圆偏振光谱仪测试薄膜的椭偏参数,并用Cauchy模型对椭偏参数进行数据拟合,获得了SiO2改性前后在300～ 700 nm波段的色散关系.讨论了薄膜改性与光学性能间的关系.结果表明:Cauchy模型能较好的描述溶胶-凝胶薄膜在300～650 nm波段的光学性能;表面改性后SiO2薄膜光学常数发生改变,但未影响色散关系的变化趋势;薄膜改性后具有随着膜层数的增加,折射率增加,而最大峰值透光率、孔隙率减小的规律,且薄膜改性后表面更加致密.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	雅菁	天津城建大学材料科学与工程学院	7	12	2.0	3.0
2	胡凤娇	天津城建大学材料科学与工程学院	3	6	1.0	2.0
3	杨宁宁	天津城建大学材料科学与工程学院	4	6	1.0	2.0