微型热导检测器的结构设计研究

• 作者: 冉莹玲 靳斌
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 热导检测器 热敏元件 MEMS技术 灵敏度 热耗散 结构
• 年，卷（期）: 2015,（10）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 64-67
• 页数: 4页
• 分类号: TH833
• 字数: 2363字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2015.10.016

摘要

基于MEMS技术设计了一种新型结构的微型热导检测器。选择了高电阻率、高温度系数的热敏元件，以四臂直通式作为结构模型，并对结构器件材料的热耗散性能进行仿真分析，采用热损耗最小的聚酰亚胺作为绝热层，以微加工工艺为基础完成了微型热导检测器的制作。实验结果表明，该新型热导检测器测量体积分数85%的标准气体时最大误差为0.068%，相比传统的热导检测器灵敏度提高约25%。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	靳斌	西华大学电气信息工程学院	32	134	6.0	9.0
2	冉莹玲	西华大学电气信息工程学院	3	11	2.0	3.0