基于频域分析的抗振移相干涉测量

• 作者: 何建国 刘乾 吉方 张连新 王洋
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 移相干涉术 确定性加工 振动 频域分析 现场测量
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 信息科学
• 页码范围: 252-259
• 页数: 8页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 3989字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20152301.0252

摘要

针对移相干涉测量中振动引起的移相误差和对比度变化,提出了一种从空间载波干涉图频谱中提取移相和对比度信息的方法.该方法通过分析载波干涉图频谱,从基带和边带中提取移相和对比度信息,运用最小二乘法补偿对比度变化并复原波前位相.最后采用构造平滑孔径函数对带有孔径的干涉图进行处理.数值仿真证明:提出的方法可以高精度检测移相量和对比度变化,能够有效补偿因对比度变化引起的位相复原误差.在频率为9 Hz、幅度为0.5 μm的简谐振动条件下实验验证了本文方法的实用性.结果显示:从受振动干扰的干涉图中复原平晶表面时,其复原误差PV值小于0.015波长.该方法无需硬件改动,有望为移相干涉测量应用于现场测量提供一种低成本的解决方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王洋	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	33	624	15.0	24.0
2	何建国	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	56	300	9.0	15.0
3	吉方	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	83	322	9.0	12.0
4	张连新	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	30	126	6.0	10.0
5	刘乾	中国工程物理研究院机械制造工艺研究所	12	65	4.0	8.0