基底表面纳米织构对非晶四面体碳膜结构和摩擦特性的影响研究?

• 作者: 安书董 王晓波 王晓燕 王炎武 赵玉清 陈仙
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 四面体非晶碳 离子束改性技术 表面织构 X射线光电子能谱
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、力学和热学性质
• 页码范围: 494-499
• 页数: 6页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.64.036801

摘要

本文利用离子束表面改性技术对基底表面进行不同时间的轰击,形成不同规则的纳米织构,对不同织构的变化规律进行了研究,同时,利用磁过滤真空阴极电弧技术,在具有不同纳米织构的各基底上沉积相同时间的四面体非晶碳薄膜。采用原子力显微镜对各基底的织构进行形貌分析,结果表明,高能粒子束的轰击对基底表面形貌有较大的影响,根据离子束轰击时间的不同,可以在基底表面形成各种不同规则的纳米织构,轰击15 min后发现基底表面形成点阵纳米织构,之后随着时间的增加,基本维持点阵结构。通过X射线光电子能谱仪和摩擦磨损试验仪对沉积在具有不同织构的基底上的ta-C薄膜进行测试,研究表明,基底表面纳米织构的非晶层结构引起薄膜内部sp3键的含量降低,释放了薄膜的内应力,同时发现基底表面纳米织构将ta-C薄膜磨损时间从不足10 min提高到约70 min,有效提高了薄膜的耐磨性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵玉清		17	63	4.0	7.0
2	王晓燕	西安交通大学电子与信息工程学院电子物理与器件教育部重点实验室	8	32	3.0	5.0
3	安书董	西安交通大学电子与信息工程学院电子物理与器件教育部重点实验室	4	9	2.0	3.0
4	王炎武	西安交通大学电子与信息工程学院电子物理与器件教育部重点实验室	5	8	2.0	2.0
5	陈仙	西安交通大学电子与信息工程学院电子物理与器件教育部重点实验室	8	34	3.0	5.0
6	王晓波	西安交通大学电子与信息工程学院电子物理与器件教育部重点实验室	2	3	1.0	1.0