Sn-Al共掺杂ZnO薄膜的制备及其光电性能

• 作者: 刘涛 赵小如 金宁
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 溶胶凝胶法 Sn-Al掺杂ZnO薄膜(ZASO) 掺杂浓度 预烧温度
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 页码范围: 740-745,763
• 页数: 7页
• 分类号: O484.4
• 字数: 4198字
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶凝胶法在普通载玻片上制备了Sn-Al共掺杂ZnO薄膜(ZASO薄膜).利用XRD、扫描电子显微镜、霍尔测试仪、双电测四探针测试仪和紫外-可见分光光度计等设备,研究了Sn-Al掺杂浓度、预烧温度对氧化锌薄膜的晶体结构和光电性能的影响.结果表明:预烧温度为500℃,Sn、Al掺杂浓度分别为1.0at％时,得到的ZASO薄膜的综合光电性能最好,晶粒尺寸较大,方块电阻可达3.3 kΩ/□,光学透过率达92.9％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘涛	商洛学院电子信息与电气工程学院	10	33	3.0	5.0
2	赵小如	西北工业大学理学院应用物理系	8	67	5.0	8.0
3	金宁	西北工业大学理学院应用物理系	1	10	1.0	1.0