PP基材表面磁控共溅射制备新型阻隔薄膜的研究

• 作者: 刘壮 孙智慧 朱琳 林晶 王金武
• 来源期刊: 包装工程
• 学科: 工学
• 关键词: TiNx/CFy复合薄膜 磁控共溅射 阻隔
• 年，卷（期）: 2015,（9）
• 所属期刊栏目: 技术专论
• 页码范围: 73-76,133
• 页数: 5页
• 分类号: TB484.3
• 语种: 中文

摘要

目的 为了解决传统陶瓷阻隔薄膜的裂纹问题.方法 采用射频磁控共溅射的方法在基底PP表面制备TiNx/CFy薄膜,并通过改变输入PTFE与Ti靶的射频功率比大小控制TiNx相与CFy相的体积分数,利用RBS与FTIR表征复合薄膜化学元素组成与结构,并根据各原子数分数结果计算出复合薄膜中TiNx的体积分数,建立该值与薄膜的透氧率、透湿率之间的关系.结果TiNx相与CFy相的体积分数及薄膜的细部结构直接影响薄膜的透氧率与透湿率,同时也影响薄膜的柔韧性能.结论TiNx相的体积分数为0.28时,复合薄膜的柔韧性能及阻隔性能最好.