跨尺度二维工作台系统研制

• 作者: 卞亚魁 袁钰 陈晨
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 跨尺度 宏/微双驱动 机器视觉 纳米定位
• 年，卷（期）: 2015,（9）
• 所属期刊栏目: 测试与仪器
• 页码范围: 77-80
• 页数: 4页
• 分类号: TG806|TH71|TH89
• 字数: 2801字
• 语种: 中文

摘要

为实现大行程、纳米分辨力的定位目标,研制了跨尺度二维工作台系统.采用大行程宏动台和六自由度微动台组合的方式,搭建了宏/微双驱动高精度二维工作台系统.该系统利用机器视觉技术,采用图像处理方法确定系统中各个零件的位置和方向,宏动台高速移动实现粗定位,通过微动台与宏动台的循环配合工作,最终实现二维工作台系统的纳米级定位精度.实验结果表明,200mm×200mm二维工作台的定位精度在0.6μm左右,该工作台系统具备了大行程、定位时间快、智能化等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈晨		19	57	5.0	6.0
2	袁钰		2	22	1.0	2.0
3	卞亚魁		2	8	1.0	2.0