TSTGT蓝宝石晶体位错腐蚀形貌分析

• 作者: 周金堂 张艳 李涛 柳祝平 王佳麒 裴广庆 黄小卫
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 蓝宝石单晶 腐蚀 KOH 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 页码范围: 627-631
• 页数: 5页
• 分类号: O77+2
• 字数: 1879字
• 语种: 中文

摘要

采用化学腐蚀-金相显微镜法,利用熔融的KOH对顶部籽晶温度梯度法(TSTGT)生长的直径320 mm的蓝宝石单晶中不同部位的晶片做了位错腐蚀形貌分析.研究表明,(0001)面的位错腐蚀坑呈三角形,腐蚀晶界具有延伸性.对比不同腐蚀时间、不同腐蚀温度和不同表面粗糙度下的腐蚀效果,发现使用KOH腐蚀剂在400℃腐蚀15min时,效果最好.表面粗糙度越小,位错图像越清晰.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王佳麒		2	7	1.0	2.0
2	张艳		3	12	2.0	3.0
3	裴广庆		2	6	1.0	2.0
4	周金堂		1	1	1.0	1.0
5	黄小卫		2	7	1.0	2.0
6	柳祝平		4	12	2.0	3.0