多层UV-LIGA电铸镍材料的抗冲击性能

• 作者: 周织建 席占稳 王晓锋 聂伟荣
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: UV-LIGA 多层电铸镍 抗冲击性能 微机电系统(MEMS)
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1044-1052
• 页数: 9页
• 分类号: TH140.1|TQ153.4
• 字数: 3599字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20152304.1044

摘要

为研究采用UV-LIGA(Ultraviolet Lithography,Galvanoformung,Abformung)技术制作的多层电铸镍的机械可靠性,对其进行了抗冲击性能分析.利用冲击试验台及信号采集系统测试了UV-LIGA多层电铸镍的抗冲击性能.实验分析得到其累积失效概率-加速度峰值曲线近似拟合于韦布尔统计分布,韦布尔系数γ=7.6,参考加速度为21 300g.当加速度为12 000～18 000g时,可靠性相对较高;当加速度为12 000～18 000 g时,累计失效概率增加较快;当加速度大于24 000g时,可靠性下降迅速.利用扫描电子显微镜(SEM)观察了试样,得到其主要的失效形式有分层、断裂、塑性变形以及黏连等.初步分析了失效原因,并提出了相应的优化设计方法,为UV-LIGA多层结构的设计提供实验依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	席占稳	南京理工大学机械工程学院	39	202	8.0	13.0
2	聂伟荣	南京理工大学机械工程学院	52	260	9.0	12.0
3	王晓锋	南京理工大学机械工程学院	76	470	12.0	17.0
4	周织建	南京理工大学机械工程学院	14	53	5.0	6.0