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摘要:
日前,中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室SOI材料课题组在柔性Si/Ge纳米带确定性组装方面获得新进展。课题组提出了“边缘一剪切转移”(Edge—Cutting Transfer)技术,成功地实现了柔性Si/Ge纳米带在柔性基底上的可控转移及确定性组装。
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文献信息
篇名 上海微系统所取得柔性Si/Ge纳米带确定性组装方面新进展
来源期刊 中国粉体工业 学科 工学
关键词 柔性基底 纳米带 微系统 组装 Ge SI 上海 国家重点实验室
年,卷(期) 2015,(5) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 47-47
页数 1页 分类号 TU352
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纳米带
微系统
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Ge
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国家重点实验室
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中国粉体工业
双月刊
大16开
北京市海淀区上地信息路15号金融科贸大厦
2004
chi
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