磁控溅射AZO透明导电薄膜及其光电性能的研究

• 作者: 唐立丹 梅海林 王冰 赵斌
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: AZO薄膜 磁控溅射 衬底温度 结构特性 电阻率 透光率
• 年，卷（期）: 2015,（8）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 38-41
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.2
• 字数: 2647字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2015.08.010

摘要

采用磁控溅射法在石英玻璃衬底上制备AZO薄膜。利用X射线衍射仪、原子力显微镜、四探针测试仪和透射光谱仪等手段研究了衬底温度对AZO薄膜结构、形貌、光电性能的影响。结果表明，所有的AZO薄膜均为纤锌矿结构且具有较好的c轴取向。薄膜表面平整，晶粒约为55.56 nm。随着衬底温度升高，薄膜电阻率先降低而后升高，当衬底温度为350℃时，电阻率最小，约为1.41×10–3Ω·cm，而且该薄膜具有较好的透光率，约为84%。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵斌	辽宁工业大学材料学院	9	9	2.0	3.0
2	唐立丹	辽宁工业大学材料学院	54	108	5.0	8.0
3	王冰	辽宁工业大学材料学院	68	107	5.0	6.0
4	梅海林	辽宁工业大学材料学院	13	14	2.0	3.0