基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
以SF6和O2为反应气体,采用反应离子刻蚀(RIE)技术,在单晶硅衬底表面制备了锥型绒面结构,系统地研究了关键刻蚀条件对RIE晶硅表面制绒的影响.结果表明,随着反应气压增大,晶体硅表面锥型结构呈现分布均匀和高度增加的趋势,但过高气压下锥型微结构向脊型转变直至消失.在反应气体中掺入CH4,晶体硅表面锥型结构高度增加,表面平均反射率下降到5.63%.该结果可解释为:气压增大导致的F原子刻蚀的增强有利于锥体结构高度增加,小尺寸的SiOyFx聚合物掩模的完全刻蚀使锥型结构的尺寸逐渐均匀,而过高的气压下,掩模及晶体硅的过量刻蚀导致微结构只剩锥体底部的脊型凸起.CH4掺入导致CHx聚合物的掩模和粒子轰击效应均有增强,更有利于高纵横比锥型微结构的形成.
推荐文章
晶体硅太阳能电池用微细银粉制备研究进展
太阳能电池
银粉
还原剂
分散剂
形貌控制
纳米硅薄膜太阳能电池的制备及特性研究
纳米硅薄膜
等离子体增强化学气相沉积
沉积理论
性能
“年产500MW晶体硅太阳能电池”项目落户太原
晶体硅太阳能电池
太原市
经济技术开发区
项目总投资
投资建设
产业园区
办公设施
厂房
用于太阳能电池的多晶硅锭片晶体学特征研究
多晶硅锭片
EBSD
取向差
晶界
Σ3
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 晶体硅太阳能电池绒面的反应离子刻蚀制备研究
来源期刊 人工晶体学报 学科 工学
关键词 反应离子刻蚀 锥型绒面结构 晶体硅 太阳能电池
年,卷(期) 2015,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 571-575
页数 5页 分类号 TM914.4
字数 3513字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 傅广生 河北大学物理科学与技术学院 184 817 13.0 17.0
2 于威 河北大学物理科学与技术学院 91 346 9.0 13.0
3 张瑜 河北大学物理科学与技术学院 15 38 3.0 6.0
4 宋登元 河北大学物理科学与技术学院 14 194 6.0 13.0
5 丛日东 河北大学物理科学与技术学院 7 10 2.0 3.0
6 史振亮 河北大学物理科学与技术学院 2 8 2.0 2.0
7 靳聪慧 河北大学物理科学与技术学院 1 6 1.0 1.0
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (9)
共引文献  (19)
参考文献  (12)
节点文献
引证文献  (6)
同被引文献  (30)
二级引证文献  (3)
1992(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1993(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1995(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
1997(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
1999(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
2000(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
2001(2)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(2)
2002(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
2004(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
2005(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
2006(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
2008(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
2010(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
2011(2)
  • 参考文献(2)
  • 二级参考文献(0)
2012(2)
  • 参考文献(2)
  • 二级参考文献(0)
2013(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
2014(1)
  • 参考文献(1)
  • 二级参考文献(0)
2015(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
2015(1)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(1)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
2016(1)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(0)
2017(4)
  • 引证文献(4)
  • 二级引证文献(0)
2019(2)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(1)
2020(2)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(2)
研究主题发展历程
节点文献
反应离子刻蚀
锥型绒面结构
晶体硅
太阳能电池
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
人工晶体学报
月刊
1000-985X
11-2637/O7
16开
北京朝阳区红松园1号中材人工晶体研究院,北京733信箱
1972
chi
出版文献量(篇)
7423
总下载数(次)
16
总被引数(次)
38029
论文1v1指导