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晶体硅太阳能电池绒面的反应离子刻蚀制备研究
晶体硅太阳能电池绒面的反应离子刻蚀制备研究
作者:
丛日东
于威
傅广生
史振亮
宋登元
张瑜
靳聪慧
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
反应离子刻蚀
锥型绒面结构
晶体硅
太阳能电池
摘要:
以SF6和O2为反应气体,采用反应离子刻蚀(RIE)技术,在单晶硅衬底表面制备了锥型绒面结构,系统地研究了关键刻蚀条件对RIE晶硅表面制绒的影响.结果表明,随着反应气压增大,晶体硅表面锥型结构呈现分布均匀和高度增加的趋势,但过高气压下锥型微结构向脊型转变直至消失.在反应气体中掺入CH4,晶体硅表面锥型结构高度增加,表面平均反射率下降到5.63%.该结果可解释为:气压增大导致的F原子刻蚀的增强有利于锥体结构高度增加,小尺寸的SiOyFx聚合物掩模的完全刻蚀使锥型结构的尺寸逐渐均匀,而过高的气压下,掩模及晶体硅的过量刻蚀导致微结构只剩锥体底部的脊型凸起.CH4掺入导致CHx聚合物的掩模和粒子轰击效应均有增强,更有利于高纵横比锥型微结构的形成.
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晶体硅太阳能电池
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用于太阳能电池的多晶硅锭片晶体学特征研究
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文献信息
篇名
晶体硅太阳能电池绒面的反应离子刻蚀制备研究
来源期刊
人工晶体学报
学科
工学
关键词
反应离子刻蚀
锥型绒面结构
晶体硅
太阳能电池
年,卷(期)
2015,(3)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
571-575
页数
5页
分类号
TM914.4
字数
3513字
语种
中文
DOI
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
傅广生
河北大学物理科学与技术学院
184
817
13.0
17.0
2
于威
河北大学物理科学与技术学院
91
346
9.0
13.0
3
张瑜
河北大学物理科学与技术学院
15
38
3.0
6.0
4
宋登元
河北大学物理科学与技术学院
14
194
6.0
13.0
5
丛日东
河北大学物理科学与技术学院
7
10
2.0
3.0
6
史振亮
河北大学物理科学与技术学院
2
8
2.0
2.0
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靳聪慧
河北大学物理科学与技术学院
1
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锥型绒面结构
晶体硅
太阳能电池
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
人工晶体学报
主办单位:
中材人工晶体研究院有限公司
出版周期:
月刊
ISSN:
1000-985X
CN:
11-2637/O7
开本:
16开
出版地:
北京朝阳区红松园1号中材人工晶体研究院,北京733信箱
邮发代号:
创刊时间:
1972
语种:
chi
出版文献量(篇)
7423
总下载数(次)
16
总被引数(次)
38029
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