TiAlN 和 TiCrAlN 薄膜的制备和耐磨性能

• 作者: 吴艳萍 唐凯 朱生发
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 切削刀具 TiAlN 薄膜 TiCrAlN 薄膜 摩擦磨损
• 年，卷（期）: 2015,（23）
• 所属期刊栏目: 工艺.技术
• 页码范围: 23148-23152
• 页数: 5页
• 分类号: TG71|TB79
• 字数: 2811字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2015.23.031

摘要

采用电弧离子镀和非平衡磁控溅射镀膜技术沉积 TiAlN,TiCrAlN 薄膜和 TiCrAlN/TiCrN 复合薄膜。采用扫描电镜(SEM)观察薄膜表面形貌和磨痕形貌,X 射线衍射(XRD)检测薄膜结构,俄歇电子能谱仪(AES)分析薄膜成分,摩擦磨损试验评价薄膜的耐磨损性能。实验结果表明,采用 Ti/TiN 复合膜过渡层,可有效提高薄膜与基体的结合性能；采用磁控溅射与电弧离子镀复合技术制备的 TiCrAlN/TiCrN 薄膜表面较光滑、粗糙度小,与基体结合强度较高,仅产生较轻微的磨粒磨损和疲劳磨损,具有较优的耐磨性能,适合用于刀具表面处理。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱生发		14	41	4.0	4.0
2	唐凯		9	37	4.0	5.0
3	吴艳萍		10	29	3.0	4.0