硫化法在金属箔片衬底上制备 ZnS 薄膜研究

• 作者: 罗少魁 许佳雄 辛辅炼
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 硫化法 ZnS 铝箔衬底 薄膜 XRD
• 年，卷（期）: 2015,（23）
• 所属期刊栏目: 工艺.技术
• 页码范围: 23144-23147,23152
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.2|O484.1
• 字数: 3590字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2015.23.030

摘要

采用铝箔作为衬底材料,用溅射 Zn 薄膜再硫化的两步法制备 ZnS 薄膜,对薄膜进行 XRD、EDS和 SEM 测试,分析硫化温度对薄膜特性的影响。实验结果表明,硫化温度400℃可确保 Zn 与 S 反应生成ZnS,薄膜择优取向为(111)晶面。提高硫化温度可增大(111)衍射峰的强度和晶粒尺寸,即提高 ZnS 薄膜的结晶度。所制备薄膜的组分接近 ZnS 化学计量比,且表现出贫 Zn 和富 S 特性,说明已发生充分的硫化反应。薄膜表面平滑且无裂纹,由致密排列的晶粒组成。实验结果说明采用硫化法在铝箔衬底上制备 ZnS 薄膜的可行性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许佳雄	广东工业大学材料与能源学院	10	14	2.0	3.0
2	辛辅炼	广东工业大学材料与能源学院	2	2	1.0	1.0
3	罗少魁	广东工业大学材料与能源学院	1	2	1.0	1.0