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摘要:
为满足微电子制造、封装领域中不同性质材料按需精确分配的需求,提出了一种由多微滴喷射单元构成的多材料按需微滴喷射系统.该系统的微滴产生模块由用于低黏度流体材料的气动膜片式微滴喷射单元、用于熔融金属流体的压电活塞式微滴喷射单元和用于高黏度流体的机械阀式微滴喷射单元组成.同时由数字相机、模拟相机+图像采集卡构成的图像采集系统,实现液滴沉积的视觉引导对准定位,以及微滴产生过程的图像采集.利用该系统,进行水基混合物、金属焊料和环氧树脂胶的微滴喷射实验,分析了不同黏度对液体微滴喷射过程的影响,实现了金属焊料的微滴喷射,获得了平均直径为70.5 μm的焊球及焊球阵列,其直径偏差小于2%.同时也获得了平均直径为0.6 mm的环氧树脂胶点阵列,其直径偏差小于4%.实验结果表明:该系统可用于包括高黏度环氧树脂胶、金属焊料等在内的多种不同黏度的材料,实现微米级微滴的按需喷射.
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文献信息
篇名 多材料按需微滴喷射系统设计与实验研究
来源期刊 机械科学与技术 学科 工学
关键词 微滴喷射 按需喷射 气动膜片式 压电活塞式 机械阀式
年,卷(期) 2015,(2) 所属期刊栏目 仪器、仪表科学与技术
研究方向 页码范围 257-262
页数 6页 分类号 TH16
字数 4388字 语种 中文
DOI 10.13433/j.cnki.1003-8728.2015.0221
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 张鸿海 华中科技大学机械科学与工程学院 68 430 11.0 16.0
2 舒霞云 华中科技大学机械科学与工程学院 14 73 5.0 8.0
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研究主题发展历程
节点文献
微滴喷射
按需喷射
气动膜片式
压电活塞式
机械阀式
研究起点
研究来源
研究分支
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
机械科学与技术
月刊
1003-8728
61-1114/TH
大16开
西安友谊西路127号
52-193
1981
chi
出版文献量(篇)
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15
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69926
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