大型衍射光栅刻划机拉杆结构的分析与改进

• 作者: 于宏柱 于海利 冯树龙 姚雪峰 宋楠 糜小涛 齐向东
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光栅刻划机 衍射光纤 双拉杆结构 单拉杆结构 石英导轨
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 745-752
• 页数: 8页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3753字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20152303.0745

摘要

由于大型衍射光栅刻划机刻划系统的双拉杆结构不能使其满足精度指标要求,本文设计了一套单拉杆结构.讨论了石英导轨分度方向弯曲误差产生的原因及其减小该误差的方法,分析和比较了两种拉杆结构的鞍型滑块的受力情况.基于材料力学弯曲变形理论,建立了石英导轨分度方向弯曲误差模型.在该模型的基础上仿真了双、单拉杆结构下刻划系统的石英导轨在分度方向上的弯曲变形误差.最后,使用双频激光干涉仪对石英导轨上的两个特征测量点进行了测量.测量结果显示:改进后的拉杆结构使得石英导轨在两特征测量点处的位移误差由50.36 nm降低到小于10 nm,满足大型衍射光栅刻划机刻划系统在分度方向上5～10 nm的精度指标要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯树龙	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	18	127	6.0	11.0
2	姚雪峰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	13	48	4.0	6.0
3	糜小涛	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	12	47	5.0	6.0
4	于宏柱	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	15	98	7.0	9.0
5	于海利	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	22	92	7.0	9.0
6	宋楠	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	10	51	4.0	7.0