提高氢化炉安全运行可靠性的自动控制方案研究

• 作者: 宋永刚 朱洪江 黄杨
• 来源期刊: 机电信息
• 关键词: 氢化炉 安全运行 自动控制
• 年，卷（期）: 2015,（18）
• 所属期刊栏目: 设备管理与改造
• 页码范围: 67-68
• 页数: 2页
• 字数: 2374字
• 语种: 中文

摘要

改良西门子法生产多晶硅是当今多晶硅生产主流工艺，在生产电子级多晶硅过程中，确保四氯化硅热氢化生产平稳长周期运行，消除因异常情况处理不及时或人为误操作造成的经济损失，是多晶硅企业必须解决的关键问题。现从实际生产出发，分析总结出一套控制方案，对氢化炉诸如四氯化硅流量和氢气流量低、尾气超压等7类异常情况进行分析，利用集散控制系统，通过异常情况下工艺参数自诊断、偏差报警、自动降功率、流量控制阀输出开度限位等6项措施，将异常情况下风险降至最低，提高了氢化炉运行安全性，预防了事故的发生，能最短时间内完成异常情况的处理。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄杨		3	0	0.0	0.0
2	朱洪江		4	6	1.0	2.0
3	宋永刚		3	0	0.0	0.0