基于金属光子晶体的透明屏蔽膜

• 作者: 张德伟 张青翠 李克训 李旭峰 赵亚丽 马富花 魏学红
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 金属光子晶体 屏蔽效能 透射率 方阻
• 年，卷（期）: 2015,（8）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 377-384
• 页数: 8页
• 分类号: O346.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS201535.0831001

摘要

金属网栅和氧化铟锡(ITO)等透明导电膜是实现电磁屏蔽和可视兼容的常用材料,但其屏蔽和可见光透射率受到了很大的限制.通过解决屏蔽、导电与可视性能相互制约的矛盾,可有效提高电磁屏蔽与可视性能的兼容性.为此,报道了一种金属光子晶体透明膜.采用磁控溅射制备了ITO/Ag为周期的金属光子晶体透明膜,研究了周期结构对样品屏蔽效能、透射率和方阻的影响.研究表明,随着单位周期金属膜厚的增加,可见光600～800 nm波段透射率降低10％以上,可见光透射光谱变窄.同时400～ 600 nm波长范围内透射率并没有随金属膜厚的增加而降低,甚至升高.随着单位周期金属膜厚增加,微波频段的屏蔽效能相应提高,方阻相应降低.实验证实:光子晶体膜的屏蔽效能与光子晶体中总金属膜厚不存在明确的因果关系,而是与“金属-电介质”的纳米周期结构相关.制备了一种屏效高达70dB,方阻低达2.1Ω,透射率大于50％的光子晶体膜.