定向凝固多晶硅铸锭炉石英坩埚的改进与热场优化

• 作者: 吴元庆 周涛 张鹏 王泽来 赵洋 边玉强 陆晓东
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 化学
• 关键词: 多晶硅 坩埚形状 温场 数字模拟 等温线
• 年，卷（期）: 2015,（11）
• 页码范围: 3179-3183
• 页数: 5页
• 分类号: O614.8
• 字数: 2648字
• 语种: 中文

摘要

针对定向凝固多晶硅铸锭炉内温场的分布特点,利用COMSOL 5.0模拟软件优化设计了定向凝固多晶硅铸锭炉内部坩埚形状,并对优化后铸锭炉内的温场分布进行了详细分析.结果表明:将坩埚底面由平底结构改进为凸底结构,可优化铸锭坩埚内的温场分布,使长晶界面的等温线趋于水平分布,进而可有效解决中心区域结晶过早、边角区域结晶过慢和边角区热诱导缺陷、杂质密度大等铸锭过程中存在的基本问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周涛	渤海大学新能源学院	59	88	4.0	6.0
2	陆晓东	渤海大学新能源学院	76	99	4.0	6.0
3	吴元庆	渤海大学新能源学院	48	41	3.0	4.0
4	王泽来	渤海大学新能源学院	17	16	3.0	3.0
5	张鹏		1	3	1.0	1.0
6	赵洋		1	3	1.0	1.0
7	边玉强	渤海大学新能源学院	1	3	1.0	1.0