超声切割SiC单晶时金刚石线锯磨损特性的研究

• 作者: 王肖烨
• 来源期刊: 机床与液压
• 学科: 工学
• 关键词: 超声切割 SiC单晶 金刚石线锯 磨损特性
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 页码范围: 129-133,137
• 页数: 6页
• 分类号: TG506.5
• 字数: 3976字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j?issn?1001-3881?2015?03?034

摘要

超声线锯切割SiC单晶时，金刚石线锯的成本仅次于SiC单晶材料本身的成本。建立了超声辅助切割SiC单晶时线锯受力模型，对线锯受力和失效形式进行了理论分析，并进行了相关试验，研究了工件进给速度对线锯偏角、切割方式对线锯磨损、切削液对线锯磨损以及磨粒破坏形式对线锯切割性能的影响规律。结果表明：工件进给速率及超声振幅增大，线锯易被拉断，但过小，切割效率会降低，要想通过增大工件进给速率提高效率，必须提高线锯强度，增大导轮直径，降低线速；超声辅助切割时线锯磨损可降低约40％；与自来水相比，使用Ecocool Resist EP微乳化液后线锯表面堵塞较严重；金刚石磨粒的微小破碎、有利于切割。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王肖烨	宝鸡文理学院机电工程系	16	65	4.0	7.0