激光干涉仪在平面度检测中的应用

• 作者: 司卫征 郭文波 钟赖
• 来源期刊: 机电工程技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光干涉仪 平面度 电子水平仪 高精度
• 年，卷（期）: 2015,（10）
• 所属期刊栏目: 经验交流
• 页码范围: 123-124
• 页数: 2页
• 分类号: TH7
• 字数: 1115字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9492.2015.10.031

摘要

对岩石平板的平面度进行测量，采用激光干涉和电子水平仪为检测工具，用矩形法和对角线法分别测量平面度，通过对两种不同测量工具测量平面度的分析，比较两种工具优势特点，为平面度检测提供测量依据。实验表明，采用双频激光干涉仪测量平面度，具有直观、高精度的测量优势。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	司卫征		4	9	3.0	3.0
2	郭文波		5	6	2.0	2.0
3	钟赖		1	3	1.0	1.0