篇名 | Effect of deposition parameters on structural and mechanical properties of niobium nitride synthesized by plasma focus device | ||
来源期刊 | 中国物理B(英文版) | 学科 | |
关键词 | DPF device niobium nitride XRD SEM AFM micro-hardness | ||
年,卷(期) | 2015,(6) | 所属期刊栏目 | |
研究方向 | 页码范围 | 416-424 | |
页数 | 9页 | 分类号 | |
字数 | 语种 | 中文 | |
DOI | 10.1088/1674-1056/24/6/065204 |