超声喷雾热解法制备CeO2薄膜及性能研究

• 作者: 刘晨 刘胜利 李兴鳌 王海云 程杰
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: CeO2 择优生长取向 超声喷雾热解 透过率
• 年，卷（期）: 2015,（11）
• 页码范围: 3019-3024
• 页数: 6页
• 分类号: O484.4+1
• 字数: 2934字
• 语种: 中文

摘要

以硝酸铈(Ce(NO3)3·6H2O)水溶液为前驱溶液,采用自制超声喷雾热解装置在石英衬底上沉积制备CeO2薄膜,并通过X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、紫外可见分光光度计等分析薄膜晶体结构、微观形貌及光学特性.结果表明,随着沉积温度升高,薄膜择优生长取向逐渐变为(200);当沉积温度为500℃时,薄膜具有良好的致密性;薄膜在可见光区表现出近85％的高透过率,同时发现随着沉积温度升高,薄膜透过率逐渐增大,光吸收逐渐由缺陷吸收转变为本征吸收.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李兴鳌	南京邮电大学材料科学与工程学院	43	201	6.0	13.0
2	程杰	南京邮电大学理学院先进功能陶瓷研究中心	10	19	3.0	3.0